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ALD技术半g工艺领域发展、应用及德国DIASU外温?- 皇龙自动化工E博?/title>
<meta name="keywords" content="ALD技术半g工艺领域发展、应用及德国DIASU外温?上v皇龙自动化工E有限公? />
<meta name="description" content="ALD技术半g工艺领域发展、应用及德国DIASU外温?U外温专家,热像控制专家,U外U测温A,U外热成像A,U外扫描温仪，U外扫描热像? 黑体? U外探测? U外阵列, 上v燕台电子,Ƨ美调压阀及系l?国CONCOA,意大利ID InsertDeal,德国Drukon" />
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<div style="position:fixed;left:-9000px;top:-9000px;"><tr id="6k3j3"><tr id="6k3j3"></tr></tr><tr id="6k3j3"><th id="6k3j3"></th></tr><th id="6k3j3"><b id="6k3j3"></b></th><th id="6k3j3"><nav id="6k3j3"><b id="6k3j3"></b></nav></th><tr id="6k3j3"></tr><tr id="6k3j3"><th id="6k3j3"><b id="6k3j3"><tr id="6k3j3"></tr></b></th></tr><th id="6k3j3"><b id="6k3j3"><tr id="6k3j3"><th id="6k3j3"></th></tr></b></th><b id="6k3j3"></b><th id="6k3j3"></th><nav id="6k3j3"><b id="6k3j3"></b></nav><tr id="6k3j3"></tr><b id="6k3j3"><tr id="6k3j3"><nav id="6k3j3"></nav></tr></b><b id="6k3j3"><tr id="6k3j3"></tr></b><b id="6k3j3"></b><nav id="6k3j3"></nav><nav id="6k3j3"><tr id="6k3j3"></tr></nav><nav id="6k3j3"></nav><nav id="6k3j3"></nav><b id="6k3j3"></b><tr id="6k3j3"></tr><th id="6k3j3"><nav id="6k3j3"></nav></th><tr id="6k3j3"></tr><b id="6k3j3"><tr id="6k3j3"></tr></b><nav id="6k3j3"></nav><tr id="6k3j3"></tr><nav id="6k3j3"></nav><tr id="6k3j3"><nav id="6k3j3"><tr id="6k3j3"><nav id="6k3j3"></nav></tr></nav></tr><b id="6k3j3"><th id="6k3j3"><nav id="6k3j3"></nav></th></b><b id="6k3j3"></b><tr id="6k3j3"><nav id="6k3j3"></nav></tr><b id="6k3j3"></b><tr id="6k3j3"><th id="6k3j3"><nav id="6k3j3"></nav></th></tr><b id="6k3j3"><tr id="6k3j3"></tr></b><tr id="6k3j3"><nav id="6k3j3"><b id="6k3j3"></b></nav></tr><th id="6k3j3"><nav id="6k3j3"></nav></th><b id="6k3j3"><th id="6k3j3"><b id="6k3j3"><tr id="6k3j3"></tr></b></th></b><b id="6k3j3"></b><b id="6k3j3"></b><th id="6k3j3"><nav id="6k3j3"><tr id="6k3j3"></tr></nav></th><th id="6k3j3"><nav id="6k3j3"></nav></th><nav id="6k3j3"></nav><tr id="6k3j3"></tr><tr id="6k3j3"></tr><th id="6k3j3"><nav id="6k3j3"></nav></th><tr id="6k3j3"></tr><th id="6k3j3"><tr id="6k3j3"></tr></th><th id="6k3j3"></th><b id="6k3j3"></b><th id="6k3j3"></th><tr id="6k3j3"></tr>
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<h1>ALD技术半g工艺领域发展、应用及德国DIASU外温?/h1>
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<section><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">ALD技术半g工艺领域发展、应?/span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">德国DIASU外温仪在ALD生中的应用</span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;"><img src="http://www.zoetrio.com/blog/zb_users/upload/2021/2/2021021256977473.png" width="551" height="379" title="2011 ALD (Atomic Layer Deposition) Maker 1.png" alt="2011 ALD (Atomic Layer Deposition) Maker 1.png"/></span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">׃低温沉积、薄膜纯度以及绝佌盖率{固有优点，ALDQ原子层淀U）技术早?1世纪初即开始应用于半导体加工制造。DRAM电容的高k介电质沉U率先采用此技术，但近来ALD在其它半g工艺领域也已发展出愈来愈q泛的应用?/span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">高k闸极介电质及金属闸极的ALD沉积对于先进逻辑晶片已成为标准，q且该技术正用于沉积间隔定义的双倍暨四倍光dPSDDP、SDQPQ，用以推广传统润式微q使用以界定高密度逻辑暨记忆体设计的最特征尺寸。本产业正在转换Cl结构，q而导致关键薄膜层对ALD的需求?/span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">q去在^面元件中虽可使用几个PVD与CVD步骤Q但闸极堆叠的观点而言Q过渡到FinFET元g需要全方位的ALD解决Ҏ。FinFET大小寸及控制关键元件参数对后闸极（gate lastQ处理的需求按14nm制程需用到全ALD层。有的是，使用FinFET减缓了效能提升对介电质EOT~放的需求，q且可用较缓慢的速度调整闸极介电质厚度?/span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">二氧化铪QHfO2Q的厚度对于最C代的元g已羃至15埃以下，再进一步的物理~放会D层Ş成不完全Q对于二氧化铪的~放Q?0?2埃似乎已辑ֈ极限。然而，利用能提升闸极堆叠k值ƈ且能使用实体较厚层之d元素Q本材料可预期gl用于更多代工艺，借以降低IK漏电?/span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">FinFET军_^面结构中某些关键整合N的有效方式，其是控制短通道效应以及使用L杂或无掺杂通道控制随机掺杂扰动。然而，对于先进制程节点Q鳍部宽度已低于微媄限制q且需要ALD层以供间隔定义之双倍光dL定（SDDPQ鳍部结构?/span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">U缘_糙度和CD圴匀度在鳍部定义中扮演关键的角色Q鳍部变异会使元件或晶圆之间的界电压生扰动。必L效控刉部的蚀M在最化鳍部高度变异的同时晶体损害降到最低。由于邻q鳍部的阴媄效应会对d布植技术造成影响Q鳍部的均匀掺杂会有挑战性。电掺杂也有类似问题?/span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">鳍部做成锥状可以解军_q问题，q同时解册盖性闸极介电质与金属沉U的忧虑Q但下一代最l仍需要利用高掺杂、一致性、ALD层之固态掺杂之cȝ新颖Ҏ以持l羃N部?/span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">在FinFET、多闸极元g中，Fin的侧边与上部Z动通道区。因此，高k闸极介电质与金属闸极必须以最厚度及物理Ҏ变异予以沉U于鳍部。变异将D甉|体彼此之间生界电压变异和效能变异Q或佉K部的甉|承蝲能力降低。另外，闸极接点金属必须寚w极腔提供无空隙填充物。逐层ALD沉积快速地成ؓ解决q些问题的唯一技术?/span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">在标准^面替换闸极技术中Q金属闸极堆叠已由ALD、PVD以及CVD金属层的l合所l成。ALD用于覆盖性关键阻障物Qcri</span><a target="_blank" title="TIC" style="text-decoration: underline; font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;"><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">TI</span></a><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">cal barrierQ与功函敎ͼwork func</span><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">TI</span><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">onQ设定层Q而传lPVD和CVD用于沉积U金属给低电ȝ闸极接点?/span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">随着FinFET之类三维l构的出玎ͼ全方位ALD解决Ҏ对于介电质、阻挡层与work func</span><a target="_blank" title="TIC" style="text-decoration: underline; font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;"><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">TI</span></a><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">on讑֮层以及闸极接点具有关键性。最大热预算持箋压低Q且理论上金属沉U必d低于500℃的温度下进行。纯金属之热ALD于此温度范围h挑战性，以及大部份将于此温度形成U金属的母材q不E_Q会在沉U期间把杂质混入金属内?/span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">然而，甉|增强型ALDQPEALDQ的使用极具优势Q因此这一技术能以入最杂质的方式q行U金属之低温沉积。直接或q端甉|两者皆可用于沉U纯金属Q但靠近闸极Z用电仍留有某些忧虑。本产业持箋评估不同低温金属母材用以对藉由ALD沉积U金属提供一个适用于所有温度的解决Ҏ?/span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">三维架构和较低热预算的结合对于特定关键薄膜沉U应用将需要由CVD与PVDUdALD。在传统PVD与CVD技术领域中Q我们已观察到对ALD替代的强烈关注。在不久的将来，可完全预期ALD扩展至MEOL与BEOL的应用。ALD母材的开发至关重要，其是在金属沉积I间中，以供交付Ҏ与PVD/CVD基线效能匚w的薄膜?/span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;">除了保ALD母材h_的反应性，母材的稳定度与蒸气压力具有关键性。若ALD大量取代传统的PVD和CVD技术，未来ALD母材的开发在化学供应商、设备制造商以及元g刉商之间需密切配合Q以保q些薄膜能以可再生、生产保证的方式沉积?/span></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;"><img src="http://www.zoetrio.com/blog/zb_users/upload/2021/2/2021021257027761.png" width="531" height="488" title="2011 ALD (Atomic Layer Deposition) Maker 3.png" alt="2011 ALD (Atomic Layer Deposition) Maker 3.png"/></span></p><p><font face="arial, helvetica, sans-serif"><span style="font-size: 16px;">详情请咨询我?c.jiang@dias-infrared.com</span></font></p><p><span style="font-size: 16px; font-family: arial, helvetica, sans-serif;"></span></p><p style="box-sizing: border-box; margin-top: 0px; margin-bottom: 10px; color: rgb(51, 51, 51); font-family: Arial, "Microsoft Yahei"; font-size: 13px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="box-sizing: border-box; font-family: "Microsoft Yahei", Arial; text-indent: 2em; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; color: rgb(255, 204, 0);text-decoration:underline;"><span style="box-sizing: border-box; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; font-size: xx-large;"><span style="box-sizing: border-box; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; font-family: "Helvetica Neue", Helvetica, "Hiragino Sans GB", "Microsoft YaHei", Arial, sans-serif;">Ƣ迎x我们微信公众号KingDIAS</span></span></span></p><p style="box-sizing: border-box; margin-top: 0px; margin-bottom: 10px; color: rgb(51, 51, 51); font-family: Arial, "Microsoft Yahei"; font-size: 13px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="box-sizing: border-box; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; font-size: x-large;"><span style="box-sizing: border-box; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; color: rgb(62, 62, 62); font-family: "Helvetica Neue", Helvetica, "Hiragino Sans GB", "Microsoft YaHei", Arial, sans-serif;">更多德国DIASU外产品及应用，</span></span></p><p style="box-sizing: border-box; margin-top: 0px; margin-bottom: 10px; color: rgb(51, 51, 51); font-family: Arial, "Microsoft Yahei"; font-size: 13px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="box-sizing: border-box; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; font-size: x-large;"><span style="box-sizing: border-box; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; color: rgb(62, 62, 62); font-family: "Helvetica Neue", Helvetica, "Hiragino Sans GB", "Microsoft YaHei", Arial, sans-serif;">请关注我们的<span style="box-sizing: border-box; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; color: rgb(255, 204, 0);">微信公众号KingDIAS</span>Q?/span></span></p><p style="box-sizing: border-box; margin-top: 0px; margin-bottom: 10px; color: rgb(51, 51, 51); font-family: Arial, "Microsoft Yahei"; font-size: 13px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="box-sizing: border-box; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; font-size: x-large;"><span style="box-sizing: border-box; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; color: rgb(62, 62, 62); font-family: "Helvetica Neue", Helvetica, "Hiragino Sans GB", "Microsoft YaHei", Arial, sans-serif;">或扫一扫二l码Q?/span></span></p><p style="box-sizing: border-box; margin-top: 0px; margin-bottom: 10px; color: rgb(51, 51, 51); font-family: Arial, "Microsoft Yahei"; font-size: 13px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"><img alt="DIASU外温成像微信公众? src="http://www.zoetrio.com/fileup/20176403719.jpg" width="500" height="181" style="box-sizing: border-box; border: 0px; vertical-align: middle;"/></p><link rel="stylesheet" href="http://www.zoetrio.com/blog/zb_users/PLUGIN/oogps_digg/oogps_digg.css" type="text/css" /><Script language="javascript" type="text/javascript">var PostID=255;</script> <Script language="javascript" type="text/javascript" src="http://www.zoetrio.com/blog/zb_users/PLUGIN/oogps_digg/oogps_digg.js"></script><div class="newdigg" id="digg"></div><div id='loadings'></div></section>
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